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用柱状指示的放大器检测晶片

发表时间:2020-06-26 13:26
文章附图


挑战

为了避免错误和可能的晶圆损坏,需要检测盒内的晶圆是否存在。

盒周围的空间有限,此时需要简单而小巧的解决方案。

解决方案

配用塑料光纤的小巧的放大器。

提供明亮的柱状指示灯,使其更容易查看。

传感器的光纤沿盒中的晶圆移动,检测哪些槽已被占用以及哪些槽是空的。